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詳情描述：
U22 系列單級(jí)減壓器清潔氣體，壓力穩(wěn)定。 可應(yīng)用于非腐蝕性氣體，腐蝕性氣體，和有毒氣體。膜片和閥體的密封采用了硬密封的設(shè)計(jì)，降低泄漏率，同時(shí)提高了安全性和使用壽命。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn) Features
h 316L 不銹鋼母體
h 膜片式硬密封，泄漏率低
h 可采用面板安裝和后座安裝
h 壓力表標(biāo)準(zhǔn)連接： 1/4” FSR(M)
 可選：1/4” FSR (F)
h 內(nèi)部電解拋光
h 高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
h 使用壽命長(zhǎng)
h 100% 氦氣測(cè)試
材質(zhì) Materials
h 母體：316L
h 閥座：PCTFE*，Vespel®
h 膜片：316L
h 上蓋：316
功能特性 Functional Performance
h 流量：Cv=1.1
h 母體泄漏率：2x10-8 atm cc/sec He
h 閥座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He
h 設(shè)計(jì)驗(yàn)證壓力：*大額定壓力的 150%
h 設(shè)計(jì)爆破壓力：*大額定壓力的 400%
工作條件 Operating Conditions
h *大的入口壓力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
h 出口壓力：0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),
 0-100 psi (7 bar), 0-150 psi (10 bar),
 0-250 psi (17 bar)
h 溫度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)
流道表面 Surface Finish
h 標(biāo)準(zhǔn)：Ra 20μin
h 可選：Ra 10μin
內(nèi)部容積 Internal Volume
h 22.6 cc
訂購指南 Ordering Information
內(nèi)部結(jié)構(gòu) Internal Structure 安裝尺寸圖 Dimensions (mm)
Ex: U22 SL B K - D F P - 95 - 95 - P
系列號(hào)
Series
母體
材料
Body
母體孔
Body
Ports
閥座
材料
Seat
輸入壓力
Inlet
Pressure
輸出壓力
Outlet
Pressure
壓力表
Gauge
進(jìn)氣/出氣形式
Inlet / Outle
Connection
選項(xiàng)
Options
U22 SL: 316L A
B
G
J
M
K: PCTFE
V: Vespel®
D: 3000 psi
F: 500 psi
G: 0~250 psi
H: 0-150 psi
I: 0~100 psi
K: 0~50 psi
L: 0~25 psi
W: 不帶壓力表
P: psi / bar 表
95: 1/2” FSR(F)
96: 1/2” FSR(M)
E: Ra 10 μin
P: 面板安裝
H: Hastelloy® 膜片

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